大气压等离子系统概述
等离子内部的离子和自由电子由于热运动而电解分离成分子和原子
大气压等离子系统适用于 平板显示器, 光学膜, 触摸板, 2次电池, PCB, 汽车以及半导体行业
平板显示器产业 
半导体产业
各种薄膜产业
触摸板产业
2次,燃料电池产业
其他一般产业
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等离子清洗机主要组成品
电极(反应器) 电源箱 气体供应箱 
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利用气体(N2/Ar/CDA)和高电压
电源, 发生等离子的机构根据不同处理概念及尺寸, 可选择
不同尺寸的电极
(Max. 3,370mm, G10.5)无臭氧, 无Particle专利结构
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给电极施加高电压的电源
供给装置根据不同电极尺寸, 可选择适当容量的电源 (1~20kW）
根据不同制程的电极, 可选择适当型号的电源 (C / S / M系列)
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发生等离子所需要的特定气体供给给电极的装置
根据不同客户的需求,可对应定制化生产
如 : MFC或MFM, 板状(Panel)或箱状(Box)
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DAWONSYS 等离子清洗机电极
DWD系列
DWE 系列 / DWH 系列
DWD系列 DWE系列 DWH系列 放电方式 直接型 间接型 间接型 间接型 工艺气体 N2,CDA, Ar, He, No-Gas N2, CDA, No-Gas N2, CDA N2, CDA 冷却方式 水冷式 气冷式 有效距离 Max. 10mm Max. 10mm 有效宽度 Max. 3370mm Max. 3370mm 对应速度 <10M/min. <10M/min. 排气 标准 : 上部排气 / 选项 : 下部排气 标准 : 上部排气 / 选项 : 下部排气 特点 臭氧吸入型排气结构
主要用于薄膜, 胶片, 箔材
制造工程跟其他公司相比优秀的均匀
度 / 效果主要用于平板显示制造工程
高效能, 轻量化, 节省型
主要用于Module和手机制造工程
DWJ系列
DWV系列
DWJ系列 DWV系列 处理方式 点型(SPOT) 旋转型(SPIN) 处理方式 真空 工艺气体 CDA 真空仓大小 可定制化生产 冷却方式 气冷式 电源规格 MF Generator – 20 ~300kHz / 1kW ~ 20kW
RF Generator – 13.56MHz / 300W ~ 5kW
有效距离 Max. 100mm Max. 15mm MFC规格 10 ~ 5000 sccm 有效宽度 Max. 15mm Max. 70mm 工艺气体 Ar / O2/ Optional 对应速度 12m/min 真空度 1 X 10-3 排气 标准 : 上部排气 / 选项 : 下部排气 干泵规格 可定制化生产 特点 1. 可对应3D形象及局部处理
2. 主要用于汽车 / 工程塑料 / 二次电池制造工程
특징 1. 可对应3D形象及局部处理
2. 主要用于半导体 / PCB / OLED / LED制造工程
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DAWONSYS Plasma Powe Supply - C, S, M 系列
C-系列
S-系列
M-系列
电源类型 C 系列 S 系列 M 系列 输入 主电源 3Ø 220[V](±10%), 50-60[Hz 控制电源 1Ø 220[V](±10%), 3[A], 50-60[Hz] 输出 额定功率 2 ~ 20 [kW] 2 ~ 6 [kW] 输出电压 15 [kVp] 5 [kVp] 5 [kVp] 频率范围 30 [kHz] 200 ~ 300 [kHz] 25~300[kHz] 控制模式 电压 / 电力控制 构成 PLC(25 PIN DIN) 输入 / 输出, 模拟控制及监控 重量 50 ~ 100 [Kg] 35 ~ 61 [Kg] 18 [Kg] 尺寸(mm) (W X D X H) 482 x 502 x 222 ~ 508 x 706 x 472[mm] 455 x 603 x 240 ~ 508 x 606 x 472[mm] 450 x 503 x 150[mm] -
大气压等离子和干式超声波清洗系统设备
半导体
薄膜, 胶片, 二次电池分隔膜等
区分 内容 项目 领域 半导体 薄膜, 胶片, 二次电池分隔膜等 制程 Pre Molding 有 / 无机物清洗及提高涂布强度 -
平台移动型
OLED
FOPLP
半导体
区分 内容 项目 领域 OLED FOPLP 半导体 制程 Pre Encapsulation Pre De-Smearing
Pre Slit Coater / Pre Bonding
Packaging, R&D -
传送带型
手机用电池制造工程
手机制造工程
Image Sensor Filter
区分 内容 项目 领域 手机用电池制造工程 手机制造工程 Image Sensor Filter 制程 Pre Printing / Coating OCTA Panel Pre Bonding Pre Bonding
| LCD | OLED | Module | Polymer & Film |
Secondary Battery |
LED & Semiconductor |
R&D | Etc | Total | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ~ G3.5 (~720mm) | 25 | 21 | 264 | 5 | 58 | 17 | 33 | 42 | 465 |
| ~ G4.5 (~920mm) | 39 | 35 | 12 | 1 | 1 | 8 | 96 | ||
| ~ G5.5 (~1500mm) | 108 | 41 | 10 | 29 | 3 | 1 | 18 | 210 | |
| ~ G6 (~1850mm) | 96 | 4 | 4 | 42 | 1 | 147 | |||
| ~ G7.5 (~2250mm) | 112 | 3 | 6 | 121 | |||||
| ~ G8.6 (~2620mm) | 865 | 126 | 7 | 24 | 1,022 | ||||
| ~ G10.5 (~3370mm) | 273 | 9 | 6 | 4 | 292 | ||||
| Jet Plasma | 4 | 12 | 31 | 4 | 41 | 1 | 11 | 104 | |
| Vacuum | 1 | 5 | 3 | 2 | 11 | ||||
| Total | 1,522 | 252 | 327 | 91 | 103 | 23 | 38 | 112 | 2,468 |
- 世界第一次成功开发LCD工艺用大气压等离子量产系统(G6)–2004
- 世界最大(G11, 3370mm) 大气压等离子系统供货–2016
- 大面积 (Size G8 以上) 具有最多实绩公司