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AP Plasma Equipment

주요 특징

  • AP Plasma
  • 1G ~ 10.5G(3370mm)의 대형 기판까지 적용 가능
  • 특허 전극을 활용한 균일한 플라즈마 방전
  • Display관련 분야 국내 최대 실적 보유

Dry USC Equipment

주요 특징

  • Ultrasonic dry Cleaner
  • 독자 기술 기반 구조 간소화, 외형 소형화, 적용 용이성 실현
  • 고객 Needs 대응 다양한 제품 Line up 보유(Ex. U,T,P-type)
  • 초대형 Size(~4,600mm) 대응 일체형 System 국내 유일 실적