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사업분야

가족경영, 지식경영, 미래경영을 경영이념으로,
초 일류를 지향합니다.

기술제품문의

김탁성 부장wowtak@dawonsys.com

Dry Ultra Sonic Cleaner 개요

초음파(Ultrasonic) 발생 장치

FPD, 광학필름, 터치패널, 2차전지 반도체 분야 등에
표면 비점착 Particle(무기물) 제거 등에 적용

  • FPD 분야
  • 반도체 분야
  • Film 분야
  • TSP 분야
  • 2차/연료전지 분야
  • 기타 분야
  • Dry Ultra Sonic Cleaner

    U Series

    T Series

    P Series

    U Series T Series P Series
    처리폭 100mm ~ 3,500mm 100mm ~ 1,500mm 10mm ~ 50mm
    처리타입 UVU, VUV UVU, VUV VUV
    배기 Ring Blower Turbo Blower / 집진기 Ring Blower
    필터 Ultrasonic : HEPA Filter(0.3um more 99.97%) / Vacuum : Pre Filter (25um Remove)
    압력 범위 Ultrasonic : 10±5kPa / Vacuum : -1.0±0.5kPa
    처리 간격
    (피처리물-전극 간)    		 1.5mm ~ 7mm 5mm ~ 10mm 1.5mm ~ 10mm
    파티클 제거율 ~99%(3.0um Spacer) ~99%(40um Spacer) ~99%(10um Spacer)
    응용분야 TFT-LCD. LTPS, AMOLED(Encap. Lami), TSP, Solar Cell etc
  • Dry Ultra Sonic Cleaner

    USC Head Unit

    Control Unit

    Specifications
    Cleaning Zone 1mm ~ 3,500mm (available 11G)
    Cleaning type UVU, VUV, UV, VU
    Blower Unit Ring Blower
    Filter

    Ultrasonic : HEPA Filter (0.3㎛ more 99.97%)

    Vacuum : Pre Filter (25 ㎛ remove)
    Pressure range

    Ultrasonic : 10±3kPa

    Vacuum : -1.0±0.5kPa
    Effective distance 1.5mm ~ 7mm (on the glass)
    Particle removal rate 98~99% (3.0㎛ Spacer)
    Energy Saving Multi Speed Function
    Facility

    Electric : Depends on model

    Gas : CDA (Sol V/V operation)
    Applications TFT-LCD, LTPS, AMOLED(Encap., Lami), TSP, Solar Cell etc
  • AP Plasma & USC System

    반도체

    Film / 2차전지 분리막

    구분 내용
    분야 분야 반도체 Film / 2차전지 분리막
    공정 Pre Molding 유/무기를 세정 및 Coating력 개선
  • Stage Moving Type

    OLED

    FOPLP

    반도체

    구분 내용
    분야 분야 OLED FOPLP 반도체
    공정 Pre Encapsulation

    Pre De-Smearing

    Pre Slit Coater / Pre Bonding

    		Packaging, R&D
  • Conveyor Type

    Mobile Phone용 Battery

    Mobile

    Image Sensor Filter

    구분 내용
    분야 분야 Mobile Phone용 Battery Mobile Image Sensor Filter
    공정 Pre Printing / Coating OCTA Panel Pre Bonding Pre Bonding
판매 실적
Module
(LCD & OLED)		 Polymer & Film Secondary Battery R&D Etc Total
Pen Type 62 2 64
~200mm 3 1 4
~400mm 33 33
~600mm 29 29
~1000mm 31 31
~1200mm
~1400mm 3 3
~1600mm 6 6
~1800mm
~2000mm 2 2
~3000mm 1 1
~5000mm 5 5
Total 167 8 3 178
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